Zeta-20白光共聚焦

Zeta-20是一款紧凑牢固的全集成光学轮廓显微镜,可以提供3D量测和成像功能。该系统采用ZDot™技术,可同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像。 Zeta-20具备Multi-Mode(多模式)光学系统、简单易用的软件、以及低拥有成本,适用于研发及生产环境。

产品名称 : 白光共聚焦显微镜
品牌 : KLA
产品型号 : Zeta-20
产地 : 美国

Zeta-20 Optical Profiler

膜厚测量仪|光学轮廓仪|Filmetrics|优尼康|粗糙度测量

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    Zeta-20是一款紧凑牢固的全集成光学轮廓显微镜,可以提供3D量测和成像功能。该系统采用ZDot™技术,可同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像。 Zeta-20具备Multi-Mode(多模式)光学系统、简单易用的软件、以及低拥有成本,适用于研发及生产环境。

产品描述

    Zeta-20台式光学轮廓仪是非接触式3D表面形貌测量系统。 该系统采用ZDot™专利技术和Multi-Mode (多模式)光学系统,可以对各种不同的样品进行测量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理,以及纳米至毫米级别的台阶高度。

    Zeta-20的配置灵活并易于使用,并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot™测量模式可同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。 ZDot或集成宽带反射仪都可以对薄膜厚度进行测量。 Zeta-20也是一种高端显微镜,可用于样品复检或自动缺陷检测。 Zeta-20通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能,适用于研发及生产环境。

主要功能

·       采用ZDot和Multi-Mode(多模式)光学器件的简单易用的光学轮廓仪,具有广泛的应用

·       可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜

·       ZDot:同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像

·       ZXI:白光干涉测量技术,适用于z向分辨率高的广域测量

·       ZIC:干涉对比度,适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据

·       ZSI:剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像

·       ZFT:使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率

·       AOI:自动光学检测,并对样品上的缺陷进行量化

·       生产能力:通过测序和图案识别实现全自动测量

主要应用

·       台阶高度:纳米到毫米级别的3D台阶高度

·       纹理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度

·       外形:3D翘曲和形状

·       应力:2D薄膜应力

·       薄膜厚度:30nm到100μm透明薄膜厚度

·       缺陷检测:捕获大于1μm的缺陷

·       缺陷复检:采用KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置

工业应用

·       太阳能:光伏太阳能电池

·       半导体和化合物半导体

·       半导体 WLCSP(晶圆级芯片级封装)

·       半导体FOWLP(扇出晶圆级封装)

·       PCB和柔性PCB

·       MEMS(微机电系统)

·       医疗设备和微流体设备

·       数据存储

·       大学,研究实验室和研究所

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