Zeta-388 白光共聚焦

Zeta-388 Optical ProfilerZeta-388支持3D量测和成像功能,并提供整合隔离工作台和晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送系统,可实现全自动测量。该系统采用ZDot™技术,可同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像。Zeta-388具备Multi-Mode(多模式)光学系统、简单易用的软件、低拥有成本,以及SECS / GEM通信,适用于研发及生产环境。

产品名称 : 白光共聚焦显微镜
品牌 : KLA
产品型号 : Zeta-388
产地 : 美国

Zeta-388 Optical Profiler

Zeta-388支持3D量测和成像功能,并提供整合隔离工作台和晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送系统,可实现全自动测量。该系统采用ZDot技术,可同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像。Zeta-388具备Multi-Mode(多模式)光学系统、简单易用的软件、低拥有成本,以及SECS / GEM通信,适用于研发及生产环境。

产品描述

Zeta-388光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。 Zeta-388继承了Zeta-300的功能,并增加了晶圆盒至晶圆盒机械臂,可实现全自动测量。该系统采用获得专利的ZDot技术和Multi-Mode (多模式)光学系统,可以对各种不同的样品进行测量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理,以及纳米至毫米级别的台阶高度。

Zeta-388的配置灵活并易于使用,并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot测量模式可同时收集高分辨率3D扫描和True Color无限远焦距图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。ZDot或集成宽带反射计都可以对薄膜厚度进行测量。Zeta-388也是一款高端显微镜,可用于样品检查或自动缺陷检测。Zeta-388通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能,以及晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送,适用于研发及生产环境。

主要功能

·       采用ZDotMulti-Mode(多模式)光学器件的简单易用的光学轮廓仪,具有广泛的应用

·       可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜

·       ZDot:同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像

·       ZXI:白光干涉测量技术,适用于z向分辨率高的广域测量

·       ZIC:干涉对比度,适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据

·       ZSI:剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像

·       ZFT:使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率

·       AOI:自动光学检测,并对样品上的缺陷进行量化

·       生产能力:通过测序和图案识别实现全自动测量

·       晶圆传送机械臂: 自动加载直径为50mm200mm的不透明(如硅)和透明(如蓝宝石)样品

主要应用

·       台阶高度:纳米到毫米级别的3D台阶高度

·       纹理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度

·       外形:3D翘曲和形状

·       应力:2D薄膜应力

·       薄膜厚度:30nm100μm透明薄膜厚度

·       缺陷检测:捕获大于1μm的缺陷

·       缺陷复检:采用KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置

工业应用

·       LED:发光二极管和PSS(图案化蓝宝石基板)

·       半导体和化合物半导体

·       半导体 WLCSP(晶圆级芯片级封装)

·       半导体FOWLP(扇出晶圆级封装)

·       PCB和柔性PCB

·       MEMS(微机电系统)

·       医疗设备和微流体设备

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