AutoSE-一键式全自动快速椭偏仪

全自动化&高集成度&可视化光斑 操作简单,测试快速,为一般操作工人设计 一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。 采用工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

产品名称 : 全自动快速椭偏仪
品牌 : HORIBA
产品型号 : AutoSE
产地 : 法国

AutoSE-一键式全自动快速椭偏仪

膜厚测量仪|光学轮廓仪|Filmetrics|优尼康|粗糙度测量 

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全自动化&高集成度&可视化光斑

操作简单,测试快速,为一般操作工人设计

一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。

采用工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

主要特点:

1. 液晶调制技术,无机械转动部件,重复性,信噪比高

2. 专利技术成像系技术,所有样品均可成像,对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.

3. 反射式微光斑,覆盖全谱段,利于非均匀样品图案化样品测试

4. 全自动集成度高,安装维护简便

5. 一键式操作软件,快速简单

6. 自动MAPPING扫描,分析样品镀膜均匀性

 

技术参数:

1. 光谱范围:450-1000 nm

2. 多种微光斑自动选择

3. 专利光斑可视技术,可观测任何样品表面

4. 自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm

5. 70度角入射

6. CCD探测器


高集成度全自动式设计,操作简便,安装快速,自动校验故障

  • 液晶相调制

  • 16个穆勒矩阵参数

  • 1秒内完成全谱测量

  • MyAuto View可视光斑技术

  • 微光斑,四种可选

  • 一键式操作,一键出报告