Smart SE智能型多功能椭偏仪

Smart SE智能型多功能椭偏仪是一款针对单层和多层薄膜进行简单,快速,精确表征和分析的工具。 多功能性设计,配置灵活,具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。

产品名称 : 智能型多功能椭偏仪
品牌 : HORIBA
产品型号 : Smart SE
产地 : 法国

HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪

膜厚测量仪|光学轮廓仪|Filmetrics|优尼康|粗糙度测量 

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仪器介绍:

Smart SE智能型多功能椭偏仪是一款针对单层和多层薄膜进行简单,快速,精确表征和分析的工具。

多功能性设计,配置灵活,具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。


技术参数:

· 光谱范围:450-1000nm

· 多种微光斑自动选择

· 专利光斑可视技术,可观测任何样品表面

· CCD探测器

· 自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向

· 自动调节; Z轴高度>35mm

主要特点:

· 一键式操作,直接报告输出

·液晶调制技术,测量光路中无运动部件

· CCD 探测系统,快速全谱输出

· 多个微光斑尺寸选择,专利可视技术

· 多角度测量

· 可实现在线测量配置