MicroXAM-800光学轮廓仪

MicroXAM-800光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。MicroXAM的白光干涉仪可以埃级分辨率对表面进行高分辨率测量。 该系统支持相位和垂直扫描干涉测量,两者都是传统的相干扫描干涉技术(CSI)。MicroXAM进一步扩展了这些技术,它采用SMART Acquire为新手用户简化了程序设置,并且采用z-stitching干涉技术可以对大台阶高度进行高速测量。

产品名称 : 光学轮廓仪
品牌 : KLA
产品型号 : MicroXAM-800
产地 : 美国

MicroXAM-800 光学轮廓仪

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MicroXAM-800是一款基于白光干涉仪的光学轮廓仪,采用相位扫描干涉技术(PSI)对纳米级特征进行测量,以及采用垂直扫描干涉技术(VSI)对亚微米至毫米级特征进行测量。 MicroXAM-800的程序设置简单灵活,可以进行单次扫描或多点自动测量,适用于研发和生产环境。

产品描述:

MicroXAM-800光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。MicroXAM的白光干涉仪可以埃级分辨率对表面进行高分辨率测量。 该系统支持相位和垂直扫描干涉测量,两者都是传统的相干扫描干涉技术(CSI)。MicroXAM进一步扩展了这些技术,它采用SMART Acquire为新手用户简化了程序设置,并且采用z-stitching干涉技术可以对大台阶高度进行高速测量。

MicroXAM测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关,因而能够在大视野范围内进行高分辨率测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增加。 MicroXAM的用户界面创新而简单,适用于从研发到生产的各种工作环境。

主要功能:

  • 针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量

  • SMART Acquire简化了采集模式并采用已知最佳的程序设置的测量范围输入

  • Z-stitching干涉技术采集模式,可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面

  • XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描

  • 使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建,实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性

  • 利用已知最佳技术,从其他探针和光学轮廓仪转移算法

主要应用:

  • 台阶高度:纳米级到毫米级的3D台阶高度

  • 纹理:3D粗糙度和波纹度

  • 形式:3D翘曲和形状

  • 边缘滚降:3D边缘轮廓测量

  • 缺陷复检:3D缺陷表面形貌