探针式表面轮廓仪

布鲁克 DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)设计 创新,实现了更高的重复性和分辨率,垂直高度重复性 高达5Å。这项测量性能的提高,达到了过去四十年 Dektak体系技术创新的顶峰,更加稳固了其行业中的领 先地位。不论应用于研发还是产品测量,在研究工作中 的广泛使用使得DektakXT的功能更强大,操作更简便易 行,检测过程和数据采集也更加完善。第十代DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓

新旧程度 : 全新
产品名称 : 探针式表面轮廓仪
产地 : 德国
品牌 : Bruker
产品型号 : DektakXT

布鲁克 DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)设计 创新,实现了更高的重复性和分辨率,垂直高度重复性 高达5Å。这项测量性能的提高,达到了过去四十年 Dektak体系技术创新的顶峰,更加稳固了其行业中的领 先地位。不论应用于研发还是产品测量,在研究工作中 的广泛使用使得DektakXT的功能更强大,操作更简便易 行,检测过程和数据采集也更加完善。第十代DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)的技术突破,实现了纳米 尺度的表面轮廓测量,从而可以广泛的应用于微电子器 件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料 科学领域。

DektakXT 技术参数

台阶高度重复性5Å

— 单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性

— 先进的”智能化电子器件”实现了低噪声的新标准

— 新的硬件配置使数据采集能力提高了40%

— 64位 的Vision64同步数据处理软件,将数据分析速度提高十倍。

功能卓越,操作简易

— 直观的Vision64用户界面操作流程简便易行

— 自对准式探针设计使得更换探针的步骤简便易行

探针轮廓仪业界翘楚,无可匹敌的价值

— 性能优异, 物超所值

— 独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量

台阶仪性能优劣取决于以下三方面: 测量重复性, 测试速度和操作难易程度,这些因素决定了实验数据的质量和实验操作的效率。DektakXT采用全新的仪器系统构造和最优化的测量及数据处理软件来实现可靠、快速和简易的样品检测,达到最佳的仪器使用效果。

提高操作的可重复性

DektakXT 的多处领先设计保证了其无人能及的表现,达到优于 5 埃的测量重复性. 使用单拱龙门结构比原先的悬臂梁设计更坚硬持久不易弯曲损坏,而且降低了周围环境 中声音和震动噪音对测量信号的影响。同时,Bruker 完善了仪器的智能化电子器件,提高了其工作性能的稳定性,降低温度变化对器件的影响,并且采用最先进的数据处理器。在控制器电路中使用智能敏化电子器件,会把系统和环境噪音引起的测量误差降到最低。因此采用DektakXT 测量系统,能够更稳定可靠地扫描高度小于10nm 的台阶,获得其形貌特征。单拱龙门结构和智能器件的联用,大大降低了基底噪音,增强了稳定性,使 其成为一个极具竞争力的表面轮廓仪。

提高测量和数据分析速度

首次采用独特高速的直接驱动扫描样品台, DektakXT在

不牺牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大缩短了每次扫 描的间隔时间。这一改进,提高了进行大范围 3D 形貌表征 或者表面长程应力扫描的扫描速度。在保证质量和重复性的 前提下,可以将数据采集处理的速度提高 40% 。另外, DektakXT 采用Bruker具有64位数据采集同步分析的 Vision64,它可以提高大范围3D 形貌图的高数据量处理速

度,并且可以加快数据滤波和多次扫描数据库分析的速度。 Vision64 还具有最有效直观的用户界面,简化了实验操作设 置,可以自动完成多扫描模式,使很多枯燥繁复的实验操作 变得更快速简洁。

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