【课程推荐】KLA Instruments - Webinar课程：厚度测量之不均匀度:如何应付这类型的问题
2020-12-23 14:53:10
admin
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KLA Instruments | Webinar课程：厚度测量之不均匀度:如何应付这类型的问题
※适合新老客户了解学习膜厚仪的使用；加深对新产品的理解。
FILMETRICS
接着我们会介绍哪些方法可以克服这个现象:
1) 小光斑(通过较小的光纤, SLED技术,或者搭配显微镜来达成).
2)使用不圴匀度模型.
3)波长分析范围的选择.
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Kent Wang 在2010加入Filmetrics，目前是负责光学轮廓仪及测厚仪产品的应用工程师。在Filmetrics之前，曾在Nanometrics任职，当时主要工作是提供台积电等客户的技术支持。求学时期是在台湾科技大学拿到硕士学位,研究科目是在电化学领域。