【课程推荐】KLA Instruments - Webinar课程:厚度测量之不均匀度:如何应付这类型的问题

2020-12-23 14:53:10 admin 48

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KLA Instruments | Webinar课程:厚度测量之不均匀度:如何应付这类型的问题

※适合新老客户了解学习膜厚仪的使用;加深对新产品的理解。


FILMETRICS

        之前的几个研讨会有稍微提到几个问题是关于这次的主题,首先我们会提到几个不均匀度的主因。
        接着我们会介绍哪些方法可以克服这个现象:
1) 小光斑(通过较小的光纤, SLED技术,或者搭配显微镜来达成).
2)使用不圴匀度模型.
3)波长分析范围的选择.

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Kent Wang 在2010加入Filmetrics,目前是负责光学轮廓仪及测厚仪产品的应用工程师。在Filmetrics之前,曾在Nanometrics任职,当时主要工作是提供台积电等客户的技术支持。求学时期是在台湾科技大学拿到硕士学位,研究科目是在电化学领域。





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