KLA P-7 探针式台阶仪
KLA P-7 探针式台阶仪产品介绍：
KLA P-7 探针式台阶仪是KLA公司的探针式台阶仪系统。KLA P-7 探针式表面轮廓仪建立在P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。它保持了P-17技术的测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了性价比。KLA P-7 探针式台阶仪可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。
从可靠性表现来看，KLA P-7 探针式台阶仪具有良好测量重复性的性能。UltraLite传感器具有动态力控制，良好的线性，和良好的垂直分辨率等特性。友好的用户界面和自动化测量可以适配大学、研发、生产等不同应用场景。
KLA P-7 探针式台阶仪产品特点：
台阶高度:几纳米至1000µm.平整的扫描平台
微力恒力控制:0.03至50mg
样品全直径扫描，无需图像拼接
视频:500万像素高分辨率彩色摄像机
圆弧校正:清空由于探针的弧形运动引起的误差
生产能力:通过测序，模式识别和SECS/GEM实现全自动化
KLA P-7 探针式台阶仪测量原理：
KLA P-7 探针式台阶仪采用了 LVDC 传感器技术，LVDC传感器利用电容的变化跟踪表面地形。电容变化是由在两个电容板之间移动的薄金属传感器叶片的运动引起的。在探针跟踪表面时，传感器叶片的位置会发生变化，从而导致电容的变化，然后将电容变化转换为地形信号。LVDC 设计的优点是质量小，叶片线性运动，从而将滞后和摩擦降到很低。这种设计能够在整个垂直范围内进行精确、稳定和高分辨率的测量 。
KLA P-7 探针式台阶仪主要应用：
薄膜/厚膜台阶 | 蚀刻深度量测 |
光阻/光刻胶台阶 | 柔性薄膜 |
薄膜的2Dstress量测 | 表面结构分析 |
表面粗糙度/平整度表征 | 表面曲率和轮廓分析 |
表面的3D轮廓成像 | 缺陷表征和缺陷分析 |
其他多种表面分析功能 | |
KLA P-7 探针式台阶产品特性及扩展选项：
探针扫描
扫描载台具有150mm的扫描范围以及最大1mm的扫描高度范围，从而保证高质量的2D和3D扫描数据。
台阶重复性
在1微米阶高的重复性为0.4纳米。这归因于极低噪音电子元件，亚埃分辨率的电容式传感器，以及高平整度的平晶基座。
Apex软件
Apex分析软件通过提供调平、滤镜、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术的扩展套件，增强了KLA P-7 探针式台阶的标准数据分析能力。Apex支持ISO粗糙度计算方法以及如ASME之类的本地标准。Apex还可用作报告编写平台，具有添加文本、注释和是/否合格的准则。Apex提供八种语言的版本。
自动化测量
自动化测量包括图案识别、1000个量测序列点和序列队列功能，可以提高产量。图案识别与自动校准相结合，可减少平台定位误差，并实现系统间配方的无缝传输。自动化测量与特征检测、特征发现、Apex软件充分集成后可以实现自动化收集和报告数据的功能。
3D成像
通过3D扫描可以得到表面的三维成像，呈现出彩色三维图像或自上而下的等高线图像。可以从中提取截面/线中的三维或二维数据。
应力分析
能够测量在生产包含多个工艺层的半导体器件期间所产生的应力。使用应力卡盘将样品支撑在中性位置并详尽测量样品翘曲，然后通过应用Stoney方程来计算应力。2D应力通过在直径达150mm的样品上通过单次扫描测量，无需图像拼接。3D应力的测量采用多个2D扫描，并结合θ平台在扫描之间的旋转对整个样品表面进行测量。
离线分析软件
离线软件可以创建扫描和序列配方，以及分析Profiler或Apex数据。
KLA P-7 探针式台阶仪产品参数：
重复性： | 4Å(0.10%) | 垂直分辨率： | 0.01A | 垂直范围： | 1200µm |
针压范围: | 0.03~50mg | 水平分辨率(X)： | 0.025µm | 水平分辨率(Y)： | 0.5µm |
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KLA P-7 探针式台阶仪测量图：
