P-7 Stylus Profiler
产品描述
P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。
P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的卓越测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。
主要功能
台阶高度：几纳米至1000μm
微力恒力控制：0.03至50mg
样品全直径扫描，无需图像拼接
视频：500万像素高分辨率彩色摄像机
圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
软件：简单易用的软件界面
生产能力：通过测序，模式识别和SECS / GEM实现全自动化
主要应用
台阶高度：2D和3D台阶高度
纹理：2D和3D粗糙度和波纹度
形状：2D和3D翘曲和形状
应力：2D和3D薄膜应力
缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌
工业应用
大学、研究实验室和研究所
半导体和化合物半导体
LED：发光二极管
太阳能
MEMS：微机电系统
数据存储
汽车
医疗设备
主要技术参数
重复性:≤4A (0.10%)
垂直分辨率: 0.01A
水平分辨率(X): 0.025 um
水平分辨率(Y): 0.5 um
采样率: 5~2000 Hz
垂直线性度:
士0.5%>2000A.
10As 2000 A
针压范围: 0. 03~50 mg
最大测量长度: 150 mm
(无需拼接)
扫描速度:2 um/s - 25 mm/s
