Filmetrics F54-XY-200 白光干涉膜厚测量仪

Filmetrics F54-XY-200白光干涉膜厚测量仪借助光谱反射系统,可以测量尺寸达200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供厚度测量,达到每秒两点。您可以从数十种预定义的极性,矩形或线性测量坐标图案中选择,也可以创建自己编辑的测量点数量。此桌面系统只需几分钟即可完成设置,任何具有基本计算机技能的人都可以使用。

  • 产品名称: 白光干涉膜厚测量仪
  • 品牌: Filmetrics
  • 产品型号: F54-XY-200
  • 产地: 美国


Filmetrics F54-XY-200 白光干涉膜厚测量仪



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Filmetrics F54-XY-200 白光干涉膜厚测量仪产品介绍:

Filmetrics F54-XY-200 白光干涉膜厚测量仪借助光谱反射系统,可以测量尺寸达200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供厚度测量,达到每秒两点。您可以从数十种预定义的极性,矩形或线性测量坐标图案中选择,也可以创建自己编辑的测量点数量。此桌面系统只需几分钟即可完成设置,任何具有基本计算机技能的人都可以使用。



Filmetrics F54-XY-200 白光干涉膜厚测量仪产品特点优势:

  • 自动化薄膜厚度绘图系统,快速定位、实时获得结果;

  • 可测样品膜层:基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量;

  • 测绘结果可用2D3D呈现,方便用户从不同的角度检视;



Filmetrics F54-XY-200 白光干涉膜厚测量仪测量原理:

当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(越多的震荡代表越大的厚度),同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。

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Filmetrics F54-XY-200 白光干涉膜厚测量仪工业应用:

半导体膜层

显示技术

消费电子

派瑞林

光刻胶

OLED

防水涂层

电子产品/电路板

介电层

ITOTCOs

射频识别

磁性材料

砷化镓

空气盒厚

太阳能电池

医学器械

微机电系统

PVDCVD

铝制外壳阳极膜

硅橡胶


Filmetrics F54-XY-200 白光干涉膜厚测量仪参数:

波长范围:

190nm-1700nm

光源:

钨卤素灯、氘灯

测量nk值厚度要求*

50nm

测量精度2

0.02nm

准确度*:取较大者

1nm0.2%

稳定性3

0.05nm

更多参数可联系我们获取


Filmetrics F54-XY-200 白光干涉膜厚测量仪测量图:图片关键词


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