Filmetrics F54-XY-200 白光干涉膜厚测量仪
Filmetrics F54-XY-200 白光干涉膜厚测量仪产品介绍：
Filmetrics F54-XY-200 白光干涉膜厚测量仪借助光谱反射系统，可以测量尺寸达200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供厚度测量，达到每秒两点。您可以从数十种预定义的极性，矩形或线性测量坐标图案中选择，也可以创建自己编辑的测量点数量。此桌面系统只需几分钟即可完成设置，任何具有基本计算机技能的人都可以使用。
Filmetrics F54-XY-200 白光干涉膜厚测量仪产品特点优势：
自动化薄膜厚度绘图系统，快速定位、实时获得结果；
可测样品膜层：基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量；
测绘结果可用2D或3D呈现，方便用户从不同的角度检视；
Filmetrics F54-XY-200 白光干涉膜厚测量仪测量原理：
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射，由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉，从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率，可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度（越多的震荡代表越大的厚度），同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。
Filmetrics F54-XY-200 白光干涉膜厚测量仪工业应用：
半导体膜层 | 显示技术 | 消费电子 | 派瑞林 |
光刻胶 | OLED | 防水涂层 | 电子产品/电路板 |
介电层 | ITO和TCOs | 射频识别 | 磁性材料 |
砷化镓 | 空气盒厚 | 太阳能电池 | 医学器械 |
微机电系统 | PVD和CVD | 铝制外壳阳极膜 | 硅橡胶 |
Filmetrics F54-XY-200 白光干涉膜厚测量仪参数：
波长范围： | 190nm-1700nm | 光源： | 钨卤素灯、氘灯 |
测量nk值厚度要求*： | 50nm | 测量精度2： | 0.02nm |
准确度*：取较大者 | 1nm或0.2% | 稳定性3： | 0.05nm |
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