Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚测量仪

Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚测量仪借助F54-XYT-300的光谱反射系统,可以快速轻松地测量200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供快速的厚度测量,达到每秒两点。

  • 产品名称: 白光干涉膜厚测量仪
  • 品牌: Filmetrics
  • 产品型号: F54-XYT-300
  • 产地: 美国


Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚测量仪



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Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚测量仪产品介绍:

Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚测量仪借助F54-XYT-300光谱反射系统,可以快速轻松地测量200 x 200mm样品的薄膜厚度。电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供快速的厚度测量,速度达到每秒两点。



Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚测量仪产品特点优势:

  • 自动化薄膜厚度绘图系统,快速定位、实时获得结果;

  • 可测样品膜层:基本上光滑的。非金属的薄膜都可以测量;

  • 测绘结果可用2D3D呈现,方便用户从不同的角度检视;



Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚测量仪测量原理:

当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(越多的震荡代表越大的厚度),同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。

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Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚测量仪产品应用与膜层范例:

半导体膜层

显示技术

消费电子

派瑞林

光刻胶

OLED

防水涂层

电子产品/电路板

介电层

ITOTCOs

射频识别

磁性材料

砷化镓

空气盒厚

太阳能电池

医学器械

微机电系统

PVDCVD

铝制外壳阳极膜

硅橡胶



Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚测量仪产品常见工业应用:

半导体制造

LCD液晶显示器

光学镀层

MEMS微机电系统

光刻胶

聚酰亚胺

硬涂层

光刻胶

氧化物/氮化物/SOI

ITO透明导电膜

抗反射涂层

硅系膜层

晶圆背面研磨






Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚测量仪产品参数:

波长范围:

190nm-1700nm

光源:

钨卤素灯、氘灯

测量nk厚度要求1*

50nm

测量精度2

0.02nm

准确度*:取较大者

1nm0.2%

稳定性3

0.05nm

样品大小:

≤直径300毫米

速度(含有真空平台):

5个点-8

25个点-21

56个点-43


光斑大小

标准500 微米孔径

选配250 微米孔径

选配100 微米孔径

5X物镜

100μm

50μm

20μm

10X物镜

50μm

25μm

10μm

15X物镜

33μm

17μm

7μm

50X物镜

10μm

5μm

2μm



Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚测量仪测量图:

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标签: KLA Filmetrics
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