Filmetrics F32 光反射式膜厚仪

Filmetrics F32 光反射式膜厚仪特殊的光谱分析系统采用半宽的3u rack- mount底盘,加上附加的分光计,可达到四个不同的位置(EXR和UVX版本至多两个位置)。F32膜厚仪软件可以通过数字I/O或主机软件来控制启动/停止/复位测量。测量数据可以自动导出到主机软件中进行统计过程控制。还提供可选的透镜组件,以便于集成到现有的生产装置上。

  • 产品名称: 光反射式膜厚仪
  • 品牌: Filmetrics
  • 产品型号: F32
  • 产地: 美国


Filmetrics F32 光反射式膜厚仪



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Filmetrics F32 光反射式膜厚仪产品介绍:

Filmetrics F32 光反射式膜厚仪特殊的光谱分析系统采用半宽的3u rack- mount底盘,加上附加的分光计,可达到四个不同的位置(EXRUVX版本至多两个位置)F32膜厚仪软件可以通过数字I/O或主机软件来控制启动/停止/复位测量。测量数据可以自动导出到主机软件中进行统计过程控制。还提供可选的透镜组件,以便于集成到现有的生产装置上



Filmetrics F32 光反射式膜厚仪产品特点优势:

  • 非接触测量:避免损伤薄膜,适用于脆弱或敏感材料;

  • 高精度与宽量程&:垂直分辨率达纳米级,可测厚度范围从1nm3mm

  • 多场景适用性:基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量。

  • 测量速度快:配置完成后,数秒内即可完成测量。

  • 预装了100多种材料,使得单层和多层薄膜的测量很容易实现

  • 提供可选的透镜组件,以便于集成到现有的生产装置上


Filmetrics F32 光反射式膜厚仪产品测量原理:

当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(越多的震荡代表越大的厚度),同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。

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Filmetrics F32 光反射式膜厚仪产应用与膜层范例:

薄膜特性:厚度、反射率、透射率、光学常数、均匀性、刻蚀量等

薄膜种类:透明及半透明薄膜,常见如氧化物、聚合物甚至空气

薄膜状态:固态、液态和气态薄膜都可以测量

薄膜结构:单层膜、多层膜;平面、曲面



Filmetrics F32 光反射式膜厚仪产品常见工业应用:

半导体膜层

显示技术

消费电子

派瑞林

光刻胶

OLED

防水涂层

电子产品/电路板

介电层

ITOTCOs

射频识别

磁性材料

砷化镓

空气盒厚

太阳能电池

医学器械

微机电系统

PVDCVD

铝制外壳阳极膜

硅橡胶



Filmetrics F32 光反射式膜厚仪产品参数:

波长范围:

380-1050nm

光源:

卤素灯

厚度测量范围:

15nm-70um

测量精度:

0.02nm

光斑大小:

探头距样品距离0.007

样品台尺寸:

1mm-300mm



Filmetrics F32 光反射式膜厚仪测量图:

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标签: KLA Filmetrics
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