Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪

Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪依靠光谱测量系统,可以简单且快速地获得直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台,可以快速的定位所需测试的点并测试厚度,测试非常快速,大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪配置精度高使用寿命长的移动平台,以求能够做成千上万次测量。

  • 产品名称: 自动Mapping膜厚测量仪
  • 品牌: Filmetrics
  • 产品型号: F50
  • 产地: 美国


Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪



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Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪产品介绍:

Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪依靠光谱测量系统,可以简单且快速地获得直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台,可以快速的定位所需测试的点并测试厚度,测试非常快速,大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪配置精度高使用寿命长的移动平台,以求能够做成千上万次测量。



Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪产品优势:

  • 自动化薄膜厚度绘图系统,快速定位、实时获得结果;

  • 可测样品膜层:基本上光滑的。非金属的薄膜都可以测量;

  • 测绘结果可用2D或3D呈现,方便用户从不同的角度检视;



Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪测量原理:

当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(越多的震荡代表越大的厚度),同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。

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Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪常见工业应用:

半导体膜层

显示技术

消费电子

派瑞林

光刻胶

OLED

防水涂层

电子产品/电路板

介电层

ITO和TCOs

射频识别

磁性材料

砷化镓

空气盒厚

太阳能电池

医学器械

微机电系统

PVD和CVD

铝制外壳阳极膜

硅橡胶



Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪产品参数:

波长范围:

190nm-1340nm

光源:

钨卤素灯、氘灯

厚度测量范围:

5nm-2mm

测量精度:

0.02nm

光斑大小:

标准1.5毫米

样品台尺寸:

1-300mm

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Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪测量图:

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标签: KLA Filmetrics
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